半導體精密運動平臺

• 半導體精密運動平臺XY軸采用直線電機驅動，滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋組成，R軸直驅電機驅動可實現360°旋轉，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導體精密制造及檢測。

• 產品參數

  Tips：絲桿模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度；最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準；馬達加減速設定為0.2s。

• 注意：限于文件大小和數量限制，高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件，請聯系我司業務人員獲取，給您帶來不便敬請諒解！